EUV軍火庫再升級！家碩搶攻High-NA黃金十年

財經中心／王駿凱報導

半導體設備廠家碩（6953）受惠於EUV先進製程需求成長與高階光罩管理市場擴大，持續深化光罩傳載自動化與微環境控制技術布局。

家碩主要提供EUV與高階光罩傳載自動化設備，產品涵蓋光罩潔淨、交換、檢測、微環境儲存、EUV POD充氣保護及智慧倉儲管理等。由於先進製程對微污染控制要求極高，設備需經過長時間驗證，形成較高產業進入門檻。第一季營收2.65億元，年增7.5%，毛利率47%，較去年同期大幅提升12個百分點。公司指出，毛利率改善主要來自產品組合優化、製造效率提升及錯誤率下降。展望後市，家碩將持續投入High-NA EUV相關技術開發，包括光罩充氣儲存、乾式清潔、智慧檢測及自動化傳載系統。公司認為，2028年後High-NA EUV逐步導入，將帶動新一波設備升級需求。

除了前段製程外，家碩也看好CoWoS先進封裝帶來的新商機。隨著封裝製程複雜度提高，後段廠對光罩保存、保護、清潔與傳送的要求逐漸向前段製程靠攏，公司已將相關技術導入先進封裝客戶，成為除EUV之外的重要成長方向。為因應未來需求，公司位於台南科學園區第三期的新廠正加速建設中，規模達5,000坪，目前工程進度已達約五成，預計2027年第二季正式投產。管理層表示，新廠將支撐未來3至5年的產能需求，並強化設備組裝、驗證及客製化開發能力。在市場布局方面，家碩目前營收仍以台灣市場為主，但已透過集團資源與海外代理體系拓展美國、日本及歐洲市場。隨著全球先進製程與先進封裝持續擴產，公司看好海外業務將逐步提升。公司近年成立智慧光學創新中心，並導入AI影像辨識與AOI檢測技術，未來將進一步延伸至EUV光罩與Pellicle檢測領域，同時布局設備預防保養（PM）自動化與智慧維護解決方案，擴大半導體智慧製造市場機會。